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PARK WAFER SERIES NX-WAFER | XE-WAFER

El Smart ADR de Park proporciona una revisión e identificación de defectos totalmente automatizada, lo que permite un proceso crítico en línea para clasificar los tipos de defectos y obtener su origen a través de imágenes 3D de alta resolución.
Diseñado específicamente para la industria de semiconductores, Smart ADR es la solución de revisión de defectos más avanzada disponible, con posicionamiento automático del objetivo sin la necesidad de marcas de referencia intensivas en mano de obra que a menudo dañan la muestra. El proceso Smart ADR mejora la productividad hasta en un 1,000% en comparación con los métodos tradicionales de revisión de defectos. Además, la nueva capacidad ADR ofrece una vida útil de la punta hasta 20 veces más larga gracias a la innovadora tecnología AFM en modo True Non-Contact ™ de Park.

Perfilador de fuerza atómica de bajo ruido para mediciones de perfil CMP precisas y de alto rendimiento

El Park AFM de bajo ruido líder en la industria se combina con una etapa deslizante de largo alcance para convertirse en un perfilador de fuerza atómica (AFP) para la metrología de pulido mecánico químico (CMP). El nuevo AFP de bajo ruido proporciona un perfil muy plano para mediciones de uniformidad locales y globales con la mejor precisión y repetibilidad de perfil en el mercado. El exclusivo modo True Non-Contact TM permite mediciones en línea no destructivas con una vida útil de la punta mucho más larga, mientras que la innovadora True Sample Topography TM de Park obtiene perfiles CMP sin los artefactos habituales asociados con un AFP tradicional basado en piezotubos. Esto garantiza mediciones de altura precisas sin sustracción de fondo no lineal o de alto ruido en una amplia gama de longitudes de perfilado.

PARK XE-BIO

Park XE-Bio es una poderosa herramienta de bioinvestigación 3 en 1 que combina de forma exclusiva la microscopía de conducción de iones de escaneo (SICM) con AFM y el microscopio óptico invertido (IOM) en la misma plataforma. El diseño modular de Park XE-Bio permite un fácil intercambio entre SICM y AFM. Diseñada para imágenes no invasivas en líquido, la capacidad combinada de medición de propiedades biomecánicas de AFM, SICM y microscopía óptica invertida hace que Park XE-Bio sea ideal para estudiar materiales biológicos en condiciones fisiológicas.

Imágenes precisas de morfología fisiológica para laboratorios de investigación biológica

Microscopio de escaneo de conductancia iónica (SICM)

  • Desarrollado para imágenes en líquido
  • Imagen de tejido biológico en estructura 3D

Microscopio de fuerza atómica (AFM)

  • Bioimagen de alta resolución para una sola molécula con verdadero modo sin contacto

Cámara celular en vivo

  • Control óptimo de temperatura, pH y humedad para mantener viva la bioactividad

PARK PTR SERIES NX-PTR | XE-PTR

La serie PTR de Park Systems es una solución AFM en linea industrial completamente automática para, entre otras, mediciones automáticas de recesión de punta de poste en controles deslizantes de nivel de barra, nivel deslizante individual y nivel HGA. Con precisión, repetibilidad y rendimiento a escala sub nano, la serie PTR es la herramienta de metrología elegida por los fabricantes de Slider para mejorar su rendimiento de producción general.

Automatización en linea, para mediciones PTR rápidas, precisas y repetibles

La industria de fabricación de controles deslizantes de unidades de disco duro exige una herramienta que proporcione mediciones de recesión de punta de poste rápidas y optimizadas, manteniendo el mas alto nivel de precisión disponible. Exige una herramienta como el Park NX-PTR. El NX-PTR ofrece mediciones de PTR extremadamente precisas para ingenieros de procesos con automatización en linea que aumenta el rendimiento. Esto la convierte en la solución perfecta para los fabricantes de controles deslizantes HDD que buscan maximizar su calidad y rendimiento de producción.

PARK XE7

Park XE7 tiene toda la tecnología de punta que espera de Park Systems, a un precio que su laboratorio puede pagar.  Diseñado con la misma atención al detalle que nuestros modelos mas avanzados, el Park XE7 le permite hacer su investigación a tiempo y dentro del presupuesto.

Alto rendimiento sin compromisos Park XE7 proporciona mediciones precisas con la resolución a nanoescala mas alta que cualquier otro producto de su clase. Le permite obtener imágenes de muestra y sus mediciones características fieles a su nanoestructura gracias a sus mediciones de escaneo plano, ortogonal y lineal por su arquitectura AFM única: XY y Z independientes, escaneo basados en flexión. Ademas el exclusivo modo «True Non-Contact» de Park le proporciona las imágenes mas nítidas, escaneo tras escaneo sin disminuir la resolución.

Fácil de usar y alta productividad. Park XE7, junto con su intuitiva interfaz gráfica de usuario y sus herramientas automatizadas, permite que incluso los usuarios novatos obtengan de la colocación de muestras a los resultados de escaneo, rápidamente. Desde el montaje de la punta pre-alineada, fácil intercambio de muestra y punta, alineación láser simple, visualización óptica de arriba hacia abajo en el eje, controles de escaneo fáciles de usar y procesamiento de software, el Park XE7 proporciona la mayor productividad de investigación en AFM.

PARK XE-3DM

Park Systems ha presentado el revolucionario XE-3DM, el sistema AFM completamente automatizado diseñado para perfiles salientes, imágenes de pared lateral de alta resolución y mediciones de ángulos críticos. Con el sistema de escaneo patentado XY y Z desacoplado con escáner Z inclinado, supera los desafíos de los métodos de punta normal y acampanada en el análisis preciso de la pared lateral. Al utilizar nuestro «True Non-Contact Mode» el XE-3DM permite la medición no destructiva de superficies fotorresistentes suaves con puntas de alta relación de aspecto.

Precisión como nunca antes.

Los factores de forma reducidos están impulsando la necesidad de diseñar a nivel de nanoescala en los mercados de semiconductores, pero las herramientas de metrología tradicionales carecen de la precisión necesaria para el diseño y la fabricación a nanoescala. Park Systems ha enfrentado este desafío en metrología industrial con avances habilitadores.

  • La eliminación de diafonia (XE) permite obtener imágenes no destructivas y sin artefactos.
  • El nuevo AFM 3D permite imágenes de alta resolución de las características de la pared lateral o socavadas.

PARK HDM SERIES NX-HDM | XE-HDM

La tarea de identificar defectos a nanoescala es un proceso que consume mucho tiempo para los ingenieros que trabajan con medios y sustratos planos. Park NX-HDM es un sistema de microscopía de fuerza atómica que acelera el proceso de revisión de defectos en un orden de magnitud a través de la identificación, escaneo y análisis automatizados de defectos. Park NX-HDM se conecta directamente con una amplia gama de herramientas de inspección óptica, lo que aumenta significativamente el rendimiento de la revisión automática de defectos. Además, Park NX-HDM proporciona mediciones precisas de rugosidad de la superficie debajo del angstrom, escaneo tras escaneo. Park NX-HDM, junto con el piso de ruido más bajo de su industria, y su exclusiva tecnología «True Non-Contact», es el AFM más preciso para la medición de la rugosidad de la superficie en el mercado.

 

Mayor rendimiento, revisión automática de defectos.

 

PARK XE15

El Park XE15 incluye muchas capacidades únicas que lo hacen ideal para laboratorios compartidos que manejan una amplia gama de muestras, investigadores que realizan experimentos con múltiples variantes e ingenieros de análisis de fallas que trabajan en obleas. Su precio razonable y su robusto conjunto de características también lo convierten en uno de los AFM de muestra grande de mejor valor en la industria.

El exclusivo escaneo MultiSample aumenta la productividad de la investigación.

Maximice su eficiencia con el único AFM que ofrece la capacidad de obtener imágenes y medir múltiples muestras en una sola pasada. Simplemente cargue el escenario con sus muestras e inicie el proceso de escaneo. Esta característica tambien le permite escanear las muestras en condiciones ambientales idénticas, mejorando la precisión y confiabilidad de sus datos.

Un gran tamaño de muestra aumenta las posibilidades.

A diferencia de la mayoría de los AFM, el Park XE15 puede escanear una muestra de hasta 200mm x 200mm. Esto lo hace ideal para investigadores que desean esanear muestras más grandes o ingenieros de análisis de fallas que necesitan colocar obleas de silicio en el escenario.

PARK NX10

Park NX10 produce datos en los que puede confiar, replicar y publicar con la resolución nano más alta. Desde la configuración de la muestra hasta el escaneo completo, la medición y el análisis, Park NX10 le ahorra tiempo en cada paso del camino. Con más tiempo y mejores datos, puede concentrarse en hacer una investigación más innovadora.

Cuenta con el único AFM sin contacto real del mundo que prolonga la vida útil de la punta al tiempo que conserva su muestra, y un escáner XY y Z independiente basado en flexión para una precisión y resolución incomparables.

PARK NX20

Como ingeniero de FA, se espera que entregue resultados. No hay margen de error en los datos proporcionados por sus instrumentos. Park NX20, con su reputación como el AFM de muestra grande mas preciso del mundo, tiene una calificación tan alta en la industria de semiconductores y discos duros por su precisión de datos.

 

Park NX20 está equipado con características únicas que hacen que sea mas fácil descubrir las razones detrás de la falla del dispositivo y desarrollar soluciones mas creativas. Su precisión sin igual proporciona datos de alta resolución que le permiten concentrarse en su trabajo, mientras que el escaneo en modo «True Non-Contact» mantiene las puntas mas nítidas y largas, por lo que no tendrá que perder tanto tiempo y dinero reemplazándolas.

UNISTAT HASTA -120°C

Los Unistats han sido diseñados para tareas en ingeniería química y procesos, tales como control de temperatura de reactores, autoclaves, miniplantas, plantas piloto, bloques de reacción y calorímetros. Estos sistemas de control de temperatura ofrecen una termodinámica única para resultados reproducibles y de alta precisión. En ello, la tecnología Unistat garantiza velocidades de enfriamiento y calentamiento rápidas, así como rangos de temperatura muy amplios sin tener que cambiar el fluido térmico. Los Unistats permiten en todo momento un escalado profesional, desde el laboratorio de investigación hasta la instalación de producción, con condiciones de proceso constantemente estables.